三維形狀測(cè)量機(jī)是一種可以測(cè)量亞微米級(jí)表面形狀的儀器。

亞微米是低于微米的級(jí)別，1微米是1/1,000毫米。 3D 形狀測(cè)量機(jī)能夠捕捉零件的三維形狀并執(zhí)行各種測(cè)量。

它還用于測(cè)量電子元件板和半導(dǎo)體的表面粗糙度、高度和厚度。其特點(diǎn)是速度快、分辨率高、精度高。

此外，根據(jù)安裝方法和測(cè)量方法的不同，三維形狀測(cè)量機(jī)有多種類型。按安裝方式有固定式、便攜式等，按測(cè)量方式有接觸式、非接觸式，有激光跟蹤儀、測(cè)繪儀等。

三維形狀測(cè)量機(jī)的應(yīng)用

三維形狀測(cè)量機(jī)的應(yīng)用如下：

1. 線性粗糙度測(cè)量

3D形狀測(cè)量?jī)x可以像觸針式表面粗糙度儀一樣測(cè)量典型的表面粗糙度參數(shù)，例如Ra和Rz。

2. 表面粗糙度測(cè)量

通過測(cè)量整個(gè)表面，3D形狀測(cè)量機(jī)可以高精度地測(cè)量波紋度和表面間的水平差異。具體示例包括墊圈波紋度評(píng)估和塊規(guī)臺(tái)階測(cè)量。

3. 平面測(cè)量

它用于測(cè)量?jī)牲c(diǎn)之間的距離、直線、圓心之間的距離以及許多其他平面測(cè)量。它被用于醫(yī)療設(shè)備、考古、成型和鐘表行業(yè)等多個(gè)行業(yè)。